Si3N4　窒化ケイ素　プローブカード用薄板

レーザー加工で丸or角穴加工を行える窒化ケイ素基板です。

厚み0.1～0.25mm　100角　150角をご用意しています。

また、レーザー加工も承ります。

遮熱・断熱材　新たに開発　クリーンルーム＆食品工場で可能

新たに、遮熱シート（アルミ箔）とメラミンスポンジ（断熱材　厚み15mm標準）を貼り合わせた遮熱・断熱材を開発致しました。

耐熱は、メラミンスポンジの耐熱150℃となります。更に耐熱を高めたモノ製作可能です。

工場内の発熱物（成形機や電気炉等）の省エネ、環境改善にお役立てください。

軽量、加工が容易（カッターで裁断可能）、クリーンルームや食品加工工場内での使用が可能です。

福岡県半導体・デジタル産業振興会議 講演会・交流会に参加致します

福岡県半導体・デジタル産業振興会議 講演会・交流会　における企業展示に参加致します。

半導体排気・入気配管向け加熱ヒーター”ヒーティングジャケット”を展示致します。

是非、お立ち寄りください。（8月23日水曜　ホテルニューオータ芙容の間　交流会）

電気炉の消費電力を削減する方法

電気炉の消費電力を削減したくありませんか？

電気炉の表面温度は、おおよそ60～80℃程度になっています。これを40～50℃に下げることで、消費電力は15～20%削減できます。

ｼﾞｬｹｯﾄﾌｫｰﾑ（難燃材）を断熱材として用いる事で、可能になります。

電気使用量を削減したいとお考えの方は、是非、ご検討下さい。

ジャケットフォーム

炉などの外壁に断熱材を施工することで、表面温度を下げ、労働環境を改善、エネルギー消費量（電力）を減らすのに貢献します。

室温を下げる必要性？

人が働く環境を向上させるためには、機器の断熱が重要です。

断熱材の詳しい資料です。

省エネ　断熱材

省エネ　断熱材

-60℃～150℃　ジャケットフォーム・メラミンスポンジ断熱材をご提供

150℃～700℃　ガラスフェルト（熱電伝導率0.0298Kcal/m/hr℃)断熱材をご提供

断熱層付きリボンヒーター

断熱層20mmを付加したリボンヒーターです。ジャケットフォームと組み合わせて、200℃加熱を実現。大変省エネなヒータです。

カーボンニュートラル、地球に優しいヒーターです。

今までのリボンヒーターに無い使いやすさ、省エネが可能です。

配管加熱ヒータ　ヒーティングジャケット

縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させた配管加熱ヒータ＝ヒーティングジャケット。

CVD、PVD、ALD、Echerなど半導体装置向け、入気細配管、排気配管の加熱用です。

300℃以上の加熱も可能で、クリーンルーム対応。

省エネでクリーンな配管加熱ヒータです。課題解決にお役に立ちます。

薄膜装置向け配管加熱ヒーター

薄膜装置　CVD、PVD、ALD、Etcher　等の入気配管・排気配管・チャンバー本体の配管加熱、本体加熱ヒーターを製造しております。

リボンヒーター等をお使いで、お困りの事はございませんか？

脱着が容易で、均熱が取れる配管加熱ヒーター　「ヒーティングジャケット」をお試し下さい。