ALD&ALE向け配管加熱ヒータ

　ALD&ALE向け入気細配管、排気配管、チャンバー本体を高温（200℃以上）に加熱するための理想的なソリューションです。このヒーティングジャケットを使用することで、簡単に、安全に、正確に、配管を加熱することができます。

　当社のヒーティングジャケットは、簡単に着脱できるため、配管の取り付けやメンテナンス作業をスムーズに行うことができます。また、様々な形状に対応するように設計され、各種サイズに合わせたカスタマイズも可能です。ALD&ALE配管加熱ヒータ231115