配管加熱ヒータ ヒーティングジャケット
縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させた配管加熱ヒータ＝ヒーティングジャケット。
CVD、PVD、ALD、Echerなど半導体装置向け、入気細配管、排気配管の加熱用です。
300℃以上の加熱も可能で、クリーンルーム対応。
省エネでクリーンな配管加熱ヒータです。課題解決にお役に立ちます。
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縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させた配管加熱ヒータ＝ヒーティングジャケット。
CVD、PVD、ALD、Echerなど半導体装置向け、入気細配管、排気配管の加熱用です。
300℃以上の加熱も可能で、クリーンルーム対応。
省エネでクリーンな配管加熱ヒータです。課題解決にお役に立ちます。
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