薄膜装置向け配管加熱ヒーター

薄膜装置　CVD、PVD、ALD、Etcher　等の入気配管・排気配管・チャンバー本体の配管加熱、本体加熱ヒーターを製造しております。

リボンヒーター等をお使いで、お困りの事はございませんか？

脱着が容易で、均熱が取れる配管加熱ヒーター　「ヒーティングジャケット」をお試し下さい。

200℃以上の加熱が可能です。細配管加熱ヒータ230407